龍門工業顯微檢測

譜華森生物科技LMM龍門顯微檢測設備,專門針對大尺寸晶圓、PCB板、工業板材等材料表面微觀缺陷設計的大型龍門結構三維掃描裝置,具備大范圍對焦跟蹤掃描、落射/透射偏光成像等功能,采用龍門雙驅結構實現高精度掃描,支持超大圖像拼接預覽。

產品特性:

項目參數
行程(mm)最大支持500mm
電機類型伺服/直線電機
重復定位精度(μm)±1
最大速度(mm/s)50
物鏡個數5個,最高支持50倍物鏡
掃描速度最快支持70幀/秒
圖像處理支持超大圖像拼接,快速預覽
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